怎么区分中频等离子清洗机和射频等离子清洗机？

等离子清洗是用等离子体通过化学或物理作用对工件表面进行分子水平处理，去除沾污，改善表面性能的工艺过程。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺。根据选择的工艺气体不同，分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。目前主要使用两种电源频率，分别是中频40KHz、射频13.56MHz。

中频等离子清洗机用的是中频电源，40KHz中频电源以16位微型控制器为核心、以电力电子器件为功率输出单元，采用了数字分频、锁相、波形瞬时值反馈、SPWM脉宽调制、IGBT输出等新技术及模块化结构，具有负载适应性强、效率高、稳定度佳、输出波形品质好、操作简单、体积小、重量轻、智能控制、异常保护功能、输出频率可调、输出反应速度快、过载能力强、全隔离输出，长寿命抗损伤等特点。在中频等离子清洗机上面就是使用的此种电源控制器。

射频等离子清洗机则用的是射频电源，也就是说我们的等离子设备中频和射频等离子设备的区分就是看它们使用的匹配电源。射频Radio Frequency ，简称RF。射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。射频放电能产生和维持高密度、连续、均匀的等离子体，高频放电时，由于频率很高，带电粒子在电场周期内还未运动到极板，电场就发生了改变，带电粒子在电场作用下向反方向移动，如此往复形成振荡，因为粒子的运动行程很长，增加了与气体分子碰撞的机率，电离度比直流辉光放电高出几个数量级，而且可以在较低的电压下维持。

激发频率40kHz的等离子体为中频等离子，发生反应主要为物理反应；13.56MHz等离子体为射频等离子体，离子能量和浓度适中，兼顾物理轰击作用和化学作用，电极一般采用金属电极。这样去区分这两种设备就会变得很容易的了。

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