经济的发展，人们的生活水平不断提高，对消费品的质量要求也越来越高，真空等离子清洗机随之逐步进入生活消费品生产行业中；另外，科技的不断发展，各种技术问题的不断提出，新材料的不断涌现，越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性，并投入大量资金进行技术攻关，等离子技术在其中发挥了非常大的作用。我们深信等离子技术应用范围会越来越广；技术的成熟，成本的降低，其应用也就更加普及。

真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分组成，可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统，真空室。容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。

真空等离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质，等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置。广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序，因此又应用于汽车电子领域、军工电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。

真空等离子清洗机通过两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有机物，以及其它化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果，经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。

真空等离子清洗机运行过程如下：

1 ）被清洗的工件送入真空室并加以固定， 启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10 Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要 2 min。?

2 ）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100 Pa。 根据清洗材质的不同，可分别选用氧气、氢 气、氩气或氮气等气体。?

3 ）在真空室内的电极与接地装置之间施加 高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发 生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业。一 般清洗处理持续几十秒到几分钟。

4 ）清洗完毕后切断高频电压，并将气体及气化的污垢排出，同时向真空室内鼓入空气，并使气压升至一个大气压.