等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。
等离子清洗机的耗材几乎是没有的
主要的损耗在真空泵维护方面，真空泵需要定期加油，更换过滤芯等。
如果清洗的产品需要用到反应气体的话，那么气体也算等离子清洗机耗材之一。但是不是所有的工艺都会用到气体，如果客户选用干泵，非油泵，那也没什么损橇了。
这些基本上是三个月一观察，根据情况去补充的，其它机体密封性什么的，都是一年半载，依观察老化情况决定是否更换。
总体来说，基于水加溶剂的传统清洗方法，尽管看起来便宜，但需要耗费大量的能源和环境为代价。这种方法的干燥过程非常缓慢，还需要消耗大量的能源。等离子体清洗技术消除了采用湿化学方法清洗中存在的各种危险，在清洗过程中也没有废液产生，传统清洗技术中所使用的化学试剂会对环境造成很大的危害，等离子体辅助清洗是一种能有效替代化学清洗的技术，是一种环境友好型的清洗技术，既安全又环保。而且等离子清洗机耗材跟传统清洗方法相比简直就是微乎其微。
等离子体清洗技术目前已经被广泛应用在金属、聚合物和陶瓷表面的清洗处理，对混合电路和印刷电路板表面残留金属物的去除，生物医学植入材料表面的消毒和清洗，硅晶片表面的清洗和考古文物的修复清洗等领域。