等离子去胶机
- 产品编号：TS-ET15
- 产品规格： 等离子去胶机
- 产品用途：
光刻胶、残胶、胶膜去除
产品介绍
产品参数：
| 设备型号 | TS-ET15等离子去胶机 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 供电电源 | AC220V（±10V）,50/60hz |
| 等离子源功率 | 300W（连续可调） |
| 等离子源频率 | 13.56MHz |
| 工艺气体通道 | 2路气体通道， 可通入气体：氩气、氢气、氧气、氮气、空气等 |
| 气体流量控制 | 精密针阀式浮子流量计(2路） |
| 内腔尺寸（方形） | L270*W280*H200 mm 材质：316不锈钢 |
| 电极板尺寸 | 230mm *230mm （最大可处理产品：8英寸晶圆，每次可处理一片） |
| 外形尺寸（mm） | 长550mm x 宽550mm x 高800mm |
产品特点：
去胶快速干净彻底
对清洗样片无损伤
操作简单方便
桌面式设计，占地面积小
最大可处理8英寸晶圆
典型应用：
高剂量离子注入光刻胶的去除
湿法或干法刻蚀前后残胶去除
MEMS中牺牲层的去除
去除化学残余物
去浮渣工艺
SU-8光刻胶去除
负性光刻胶去除
可以利用等离子去胶机除去玻璃晶圆表面的部分残余图形化光刻胶。