产品介绍

等离子体表面处理仪产品特点：

进口316不锈钢材质，密封性卓越的真空腔体设计，军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺，并配置进口技术真空泵运行。

原装进口电源：采用原装进口电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果，40kHZ,1356MHz可选，功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配。

独有放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。

高精度气体流量监测系统，两种工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例可调，采用高精度浮子流量计、美国世维洛克气体管路及阀件。

自主研发的低压(真空)等离子清洗机软件系统，性能稳定可靠，操作简单，便于维护，高效便捷。

强大的全面安全防护系统：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。

等离子体表面处理仪原理：

等离子体是指电离气体，是电子、离子、原子、分子或自由基等粒子组成的集合体 。清洗时高能电子碰撞反应气体分子，使之离解或电离，利用产生的多种粒子轰击被清洗表面或与被清洗表面发生化学反应，从而有效地清除各种污染物；还可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能和改善膜的粘着力等，这在许多应用中都是非常重要的。

等离子体表面处理仪常见应用：

石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质，增加表面亲水基团(—OH）（-COOH）提高亲水性
金属工件表面油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面有机污染物
PDMS键合前等离子活化改性,提升亲水性和键合力
高分子材料表面改性、接枝，改善亲水性，提高表面能

等离子体表面处理仪具有以下明显优点：

(1) 处理温度低, 处理时间短, 节约能耗, 可缩短工艺流程;

(2) 处理过程中不使用酸碱等化工原料, 避免了高温潮湿的生产环境;

(3) 处理深度仅为数百埃到几纳米, 不影响基体的固有性质;

(4) 处理过程属于干法处理, 可大幅降低水资源消耗, 对节约水资源有重要的社会经济意义;

(5) 处理过程中无三废排放, 既保护了环境, 又节约了企业的治污费用, 符合国家的环保政策;

(6) 可采用不同的气体介质进行处理, 对材料最终的表面化学结构和性质有较好的可控性。

经等离子体表面处理仪清洗后器件表面是燥的，不需要再处理，可以提高整个工艺流水线的处理效率；可以使操作者远离有害溶剂的伤害；等离子可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗，因此不需要过多考虑被清洗物件的形状；还可以处理各种材质，尤其适合不耐热以及不耐溶剂的材质。